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  • 光學(xué)隔振平臺(tái)可分為以下兩大類

    2021-12-16 振動(dòng)來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動(dòng)和系統(tǒng)內(nèi)部的振動(dòng)。地面固有振動(dòng),工作人員踩踏地板以及開、關(guān)門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝?dòng)均屬系統(tǒng)之外的振動(dòng),這一類振動(dòng)需通過光學(xué)隔振平臺(tái)的隔振腿衰減,而來自系統(tǒng)內(nèi)部的振動(dòng)包括儀器振動(dòng)、氣流、冷卻水流等,則需依靠桌面阻尼來隔絕。光學(xué)隔振平臺(tái)采用高阻尼處理技術(shù)和超高性能空氣彈簧,*集成且使用簡單,適用于光學(xué)顯微鏡,干涉儀,輪廓儀等精密儀器,可以為用戶提供優(yōu)異的被動(dòng)隔振性能。主動(dòng)隔振臺(tái)與被動(dòng)隔振臺(tái)的區(qū)別兩者的區(qū)別在于隔振方法。被動(dòng)隔振臺(tái)是由于材料...
  • 如何選擇可變放大倍率鏡頭?

    2021-11-24 如何選擇可變放大倍率鏡頭?選擇成像鏡頭時(shí),必須了解成像系統(tǒng)的基本系統(tǒng)參數(shù)(詳情參見成像系統(tǒng)中的6種基本參數(shù))。在正確選擇鏡頭之前,至少要考慮工作距離、視場和分辨率等因素。對(duì)此,可以假設(shè)固定焦距鏡頭、變焦鏡頭和微距鏡頭具有相同的工作原理,并可按照相同的方式進(jìn)行選擇。假設(shè)變焦鏡頭規(guī)定了具體焦距,且變焦功能已鎖定。所有可變放大倍率鏡頭都根據(jù)公式1進(jìn)行對(duì)焦。當(dāng)z’為像距(可視為成像平面和最后一個(gè)元件的距離),z為物距(或?qū)刮矬w和前方鏡頭元件的距離),f為鏡頭焦距。這是一種近似公式,...
  • 如何選擇固定倍率鏡頭?

    2021-11-23 如何選擇固定倍率鏡頭?初看之下,遠(yuǎn)心鏡頭或顯微物鏡等鏡頭看起來很難歸類到某一種成像系統(tǒng),它們的工作方式與傳統(tǒng)固定焦距鏡頭截然不同。但與傳統(tǒng)鏡頭相比,這種鏡頭的選擇過程實(shí)際上要簡單的多。除了少數(shù)例外情況,固定放大倍率鏡頭通常只能在一個(gè)工作距離處正常工作。此外它們還有特定的放大倍率,比如2.0X遠(yuǎn)心鏡頭。放大倍率實(shí)際上已標(biāo)在鏡頭上,這就是它們正常工作的參數(shù),而對(duì)于視場,我們只需將成像系統(tǒng)中的6種基本參數(shù)中的公式1轉(zhuǎn)化為以下形式::其中PMAG為鏡頭規(guī)定放大倍率。從這個(gè)公式中可以發(fā)...
  • 脈沖激光的實(shí)現(xiàn)方法

    2021-11-05 脈沖激光的實(shí)現(xiàn)方法導(dǎo)敘以連續(xù)波模式工作的激光器的輸出功率不隨時(shí)間變化。這是由于激光器達(dá)到了一種激光腔增益(取決于與泵浦速率成正比的粒子數(shù)反轉(zhuǎn))和損耗(包含腔損耗和受激輻射速率)保持平衡的穩(wěn)態(tài)條件。由于能夠顯著提高峰值輸出功率,所以通常希望激光器可以工作在脈沖模式??梢詫⑦B續(xù)激光輸出發(fā)送至外部調(diào)制器來實(shí)現(xiàn)脈沖激光運(yùn)轉(zhuǎn),調(diào)制器充當(dāng)一個(gè)只在短時(shí)間內(nèi)允許透過的開關(guān)(見圖1,左)。這種簡單的方法有許缺點(diǎn)。由于大多數(shù)光被調(diào)制器阻擋,該方法的效率很低。此外,峰值功率永遠(yuǎn)不會(huì)超過連續(xù)光源的平...
  • 可調(diào)諧激光器從實(shí)現(xiàn)技術(shù)上可分為以下三種類型

    2021-06-28 可調(diào)諧激光器是指在一定范圍內(nèi)可以連續(xù)改變激光輸出波長的激光器,本產(chǎn)品與其他傳統(tǒng)的固態(tài)激光器相比,具有從近紫外到近紅外的寬波段調(diào)諧范圍,并且其本身尺寸小、線寬窄和光學(xué)效率高,可用于光譜學(xué)、光化學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、集成光學(xué)、污染監(jiān)測、半導(dǎo)體材料加工、信息處理和通信等??烧{(diào)諧激光器從實(shí)現(xiàn)技術(shù)上看主要分為:電流控制技術(shù)、溫度控制技術(shù)和機(jī)械控制技術(shù)等類型。電流控制技術(shù)是通過改變注入電流實(shí)現(xiàn)波長的調(diào)諧,具有ns級(jí)調(diào)諧速度,較寬的調(diào)諧帶寬,但輸出功率較小,基于電控技術(shù)的主要有SG-DBR(采...
  • 什么時(shí)候使用主動(dòng)隔振系統(tǒng)?哪種方法更適合您的應(yīng)用程序?(第一部分)

    2021-05-07 什么時(shí)候使用主動(dòng)隔振系統(tǒng)?哪種方法更適合您的應(yīng)用程序?(第一部分)主動(dòng)系統(tǒng)隔振本章節(jié)將幫助工程師和科學(xué)家對(duì)主動(dòng)隔振系統(tǒng)有一個(gè)大致的了解,它們是如何工作的,什么時(shí)候應(yīng)該應(yīng)用,以及它們有什么限制。由于半導(dǎo)體制造業(yè)在這一領(lǐng)域出現(xiàn)了許多應(yīng)用,因此得到了特別的關(guān)注。5.1歷史反饋控制系統(tǒng)已經(jīng)存在了幾百年,但是在20世紀(jì)有了最大的發(fā)展。在第二次世界大戰(zhàn)期間,這項(xiàng)技術(shù)被用于防御系統(tǒng),取得了非常迅速的進(jìn)展。這些發(fā)展還在繼續(xù),甚至在今天,大多數(shù)關(guān)于控制系統(tǒng)的文本都以戰(zhàn)斗機(jī)控制和倒彈制導(dǎo)系統(tǒng)為例...
  • 如何克服因地面振動(dòng)影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?

    2021-02-05 如何克服因地面振動(dòng)影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?振動(dòng)對(duì)高級(jí)浸沒式光刻的影響沒有使用STACIS®在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式使用STACIS®STACIS主動(dòng)隔振實(shí)現(xiàn)的模式所示的45納米線寬測試圖形是由AmphibianSystems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的,安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動(dòng)對(duì)光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。該工具初安裝在鋼和混凝土基座上,基座采用鋼支撐結(jié)構(gòu),其中包含...
  • 【是心動(dòng)的感覺】-新品Cleanbench-AKTIV

    2021-01-18 【是心動(dòng)的感覺】-新品Cleanbench-AKTIV主動(dòng)壓電隔振與氣浮隔振的完美結(jié)合:CleanBenchAktiv™實(shí)驗(yàn)臺(tái)是TMC在高性能地面振動(dòng)控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動(dòng)消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開始提供出色的低頻消振性能,而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補(bǔ)充。比氣浮性能改善高達(dá)40倍:這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu),使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz...
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